| |
| ไฟฟ้าสถิต และ การทำให้เกิดประจุ |
| ไฟฟ้าสถิตถูกนิยามว่า “ประจุไฟฟ้าที่เกิดขึ้นจากความไม่สมดุลย์ของอิเล็กตรอนบนพื้นผิวของวัสดุ” |
| ความไม่สมดุลย์ของอิเล็กตรอนทำให้เกิดสนามไฟฟ้าที่สามารถวัดได้และสนามไฟฟ้านี้ก็จะมีผลหรือมีอิทธิพล |
| ต่อวัสดุที่อยู่รอบๆ Electrostatic Discharge หรือ ESD ถูกนิยามว่าการถ่ายประจุระหว่างวัสดุหรือชิ้นส่วนของวัสดุ |
| ที่มีศักดาไฟฟ้าต่างกัน ไฟฟ้าสถิตสามารถเปลี่ยนแปลงคุณลักษณทางไฟฟ้าของอุปกรณ์ประเภทสารกึ่งตัวนำ |
| ไม่ว่าจะทำให้มันแย่ลงหรือว่าทำลายให้เกิดความเสียหาย ESD อาจทำให้ระบบอิเล็กทรอนิกส์เสียหาย ทำให้ |
| อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ทำงานผิดปกติหรือล้มเหลว ปัญหาอื่นที่เกิดจากไฟฟ้าสถิต คือปัญหาใน cleanroom |
| หรือห้องสะอาด ทำให้พื้นผิววัสดุที่มีประจุดึงดูดฝุ่นละอองไว้ ทำให้ยากต่อการทำความสะอาดหรือเอาออก |
| เมื่อฝุ่นเหล่านี้ถูกดูดเข้าไปติดพื้นผิว ของเวเฟอร์ที่ทำจากซิลิกอน หรือวงจรทางไฟฟ้า ฝุ่นเหล่านี้ก็จะทำให้เกิด |
| การเสียของเวเฟอร์และทำให้ผลผลิตต่ำ การที่จะควบคุมไฟฟ้าสถิตต้องเริ่มต้นด้วยความเข้าใจว่าไฟฟ้าสถิต |
| เกิดขึ้นอย่างไรก่อน ประจุไฟฟ้าสถิตส่วนใหญ่ เกิดจากการสัมผัส แล้วแยกของวัสดุอย่างเดียวกันหรือ |
| คนละอย่าง ตัวอย่างเช่นเวลาคนเดินไปตามพื้นก็จะทำให้เกิดไฟฟ้าสถิต เพราะว่าส้นรองเท้าแตะแล้วก็ แยก |
| จากพื้น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่บรรจุเข้าหรือนำออกจากบรรจุภัณฑ์ก็ทำให้เกิดไฟฟ้าสถิต แม้ขนาดของประจุ |
| ไฟฟ้าสถิตจะต่างกันในกรณีดังกล่าว แต่แน่นอนคือประจุไฟฟ้าสถิต ได้เกิดขึ้นแล้ว |
|
| รูปที่ 1 ประจุแบบไทรโบอิเล็กทริก (Triboelectric) เกิดจากวัสดุสองชิ้นสัมผัสกัน |
|
